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清洗安全操作規范：(1)操作前，一定要檢查工作臺通風良好，如有異常，向上級匯報或向動力保障部門說明情況，請求調整；(2)在通風櫥里開啟藥品，并一定要戴上口罩、塑膠手套和防酸手套；(3)試劑開啟前,都必須將外面的塑料袋、橡皮筋取下并扔進垃圾桶；(4)擰開藥品蓋后，取下瓶口的塑封膜并扔進垃圾桶，在傾倒藥品時，一定要確定塑封膜在瓶上。清洗安全操作規范：(1)藥品使用完后，必須把瓶蓋擰緊并放到安全處；(2)工作臺前的外窗門，在使用時和使用后，均應拉下封閉，防止試劑污染晶片和超凈間，危害員工健康；(3)廢液回收時一定要兩人同時在場。硅清洗技術經歷了持續的發展改進，包括早期用氣相等效物替代在濕化學品中進行的部分清洗操作。難以置信的是，現代先進的Si清洗仍然依賴于大體上同一組化學溶液，不過它們的制備和送至晶圓的方法與初提出的已大不相同。此外，傳統上用濕清洗化學品做的表面選擇清洗/修整功能現在是在氣相中做的。
