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半導體晶圓清洗臺
型號：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業—CGB適用于2″~8″硅片的腐蝕 1．本設備為柜體式腐蝕機，整臺設備均采用件。 2．基本材質：箱體材質：德國磁白色聚丙烯（PP）；門板材質：德國透明聚氯乙烯（PVC）；腐蝕槽材質：德國自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽材質：德國自然色聚丙烯板（NPP）； 3．本設備的腐蝕槽和清洗槽間的轉換由SEW驅動，以迅速實現兩槽之間的硅片轉換。 4．腐蝕槽配有美國聚四氟乙烯加熱器、虹吸上排、傳感器。 5．清洗槽配有溢流裝置，和N2鼓泡裝置。
