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直流磁控濺射電源用于鍍制金屬膜及化合物膜，例如金、銀、鋁、鈦、鉻等，輸出電壓為直流，具有穩流功能，穩流精度高（達1%）。
品名 直流磁控濺射電源
型號 MSD系列
輸入 相數 三相+N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含零線）
輸出 波形 直流
功率 20kW~200KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩定度 ≤1%
電流 0—200A（可定制）
穩定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標準方式：恒流
可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口 標準方式：面板手動
可選方式：面板手動、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能
冷卻 風冷或水冷
外型 防護等級 IP21
單元尺寸(W*D*H) 箱體：440(W)X220(H)X560(D) （20KW風冷）
面板：482(W)X248(H)
重量 約30KG（30KW）
備注
