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直流磁控濺射電源用于鍍制金屬膜及化合物膜，例如金、銀、鋁、鈦、鉻等，輸出電壓為直流，具有穩(wěn)流功能，穩(wěn)流精度高（達(dá)1%）。
品名 直流磁控濺射電源
型號(hào) MSD系列
輸入 相數(shù) 三相+N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含零線）
輸出 波形 直流
功率 20kW~200KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
電流 0—200A（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標(biāo)準(zhǔn)方式：恒流
可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口 標(biāo)準(zhǔn)方式：面板手動(dòng)
可選方式：面板手動(dòng)、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護(hù) 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護(hù)功能
冷卻 風(fēng)冷或水冷
外型 防護(hù)等級(jí) IP21
單元尺寸(W*D*H) 箱體：440(W)X220(H)X560(D) （20KW風(fēng)冷）
面板：482(W)X248(H)
重量 約30KG（30KW）
備注
