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單極脈沖磁控濺射電源適用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。其優(yōu)點(diǎn)是能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)，提高膜層質(zhì)量。輸出波形為單極脈沖。電源具有平均電流穩(wěn)流功能。
品名 脈沖磁控電源
型號(hào) BP系列
輸入 相數(shù) 三相 N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含零線）
輸出 波形 脈沖
功率 10KW~100KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
電流 0—100A（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標(biāo)準(zhǔn)方式：恒壓/高低壓切換
可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口
標(biāo)準(zhǔn)方式：面板手動(dòng)
可選方式：面板手動(dòng)、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護(hù) 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護(hù)功能
冷卻 風(fēng)冷或水冷
外型 防護(hù)等級(jí) IP21
單元尺寸
(W*D*H) 箱體：440(W)X260(H)X580(D) （20KW風(fēng)冷）
面板：482(W)X280(H)
重量 30KG（20KW）
備注
