單極脈沖電源與直流脈沖電源有相同的用途,其輸出為單極脈沖,具有脈沖幅值穩壓功能。使用該電源能明顯減少工件打火,通過調節脈沖頻率及占空比可改善和控制成膜速度和溫度,增加膜基結合力,提高沉積速率。
品名 偏壓電源
型號 BP系列
輸入 相數 三相+N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線(含零線)
輸出 波形 脈沖
功率 10KW~100KW(可定制)
電壓 0—1200V(可定制)
穩定度 ≤1%
電流 0—100A(可定制)
穩定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標準方式:恒壓/高低壓切換
可選方式:恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口
標準方式:面板手動
可選方式:面板手動、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能
冷卻 風冷或水冷
外型 防護等級 IP21
單元尺寸
(W*D*H) 箱體:440(W)X260(H)X580(D) (20KW風冷)
面板:482(W)X280(H)
重量 30KG(20KW)
備注
售前售后服務
我公司鄭重承諾:我公司產品實行一年免費保修,終身提供產品維修服務。