中山市昊源電器設備有限公司是個生產和營銷大功率磁控濺射電源的企業公司,主要經營:真空蒸發鍍膜電源、中頻磁控濺射電源、脈沖磁控濺射電源、直流磁控濺射電源、偏壓電源等等。
本公司自主研發生產的磁控濺射電源,成功地運用了優異的脈寬調制技術(PWM),引進三菱、富士等國際較好的MOSFET、IGBT執行元件,大功率機器采用結構均流技術,并配以各種完善的保護功能,使得高頻開關電源性問題得到了圓滿解決,滿足低紋波要求,而且體積小、重量輕、節能環保,是一種性價比較優異的電源產品,是可控硅整流電源的理想替代品。
它具有以下特點:
1、可提供恒流,恒壓,恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放電及抗短路功能,具有佳的負載匹配能力。
3、具有電壓陡降特性,可充分滿足磁控濺射的特殊要求。
4,工藝重復性好。
5、提高成膜速度,實現量的濺射膜層。
6、可N 1并聯,實現大功率輸出,方便維護,性高。
7、具備RS485通訊接口PLC模擬接口功能,方便與工控電腦計算機無誤差傳輸,實現全自動控制。
8、具有多級輸出功能,可設定在不同時間段輸出不同的電流、電壓或功率值。