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立式半導體外延石英爐管鐘罩清洗機
該設備廣泛適用于各種尺寸外延石英爐管鐘罩的清洗腐蝕。整體采用德國NPP 材質板材組合焊接而成，操作方式為全自動。工藝過程為：上料槽1→清洗液1浸泡→清洗石英管內外表面→上料槽2→清洗液2浸泡→清洗石英管內外表面→下料， 各槽體均采用德國聚丙烯（NPP）板，骨架采用不銹材料制作，上水管件采用PVDF材質，德國聚偏二氟乙烯作下水材質：德國PP 板作柜體窗板：德國透明聚氯乙烯（PVC）或德國聚丙烯（PP）作柜體材質。設備前面帶有透明門窗， 槽下設有接漏盤，漏盤裝有漏液報警裝置。 槽蓋密封采用U型結構，以其密封效果良好。 酸槽1、2槽中間設有DI水清洗槽，有冷熱DI水上給水，便于配酸和沖洗槽體，石英管，給水龍頭可旋轉。 槽1酸液排放為虹吸上排式，槽2酸液排放為自排式。 此外，機臺配有排風裝置。另配美國水槍、氮氣噴槍各一支和內置照明裝置，結構合理，外型美觀。設備技術先進，科技含量高，各種配置勻為國內，用于微電子半導體行業，也適合于高校化學實驗室作實驗濕臺、腐蝕臺。非標規格，具體規格依客戶工藝確定。
