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晶圓顯影實(shí)驗(yàn)臺(tái)
本設(shè)備型號(hào)：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB可用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)各種規(guī)格尺寸硅晶片進(jìn)行顯影和定影，整臺(tái)設(shè)備均采用德國(guó)PP材料，經(jīng)雕刻后組合焊接加工而成。雙排槽構(gòu)成，每排7槽（根據(jù)工藝確定），各設(shè)一套機(jī)械手，兩排可同時(shí)完成相應(yīng)的工序。每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。 工作區(qū)潔凈度：100級(jí)。槽間工藝轉(zhuǎn)換時(shí)間：Tm ax≤3.5S，工藝過(guò)程為全自動(dòng)，全程PLC控制，觸摸屏操作。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，外型美觀。適用于微電子半導(dǎo)體行業(yè)，也適合于高?；瘜W(xué)實(shí)驗(yàn)室作實(shí)驗(yàn)濕臺(tái)、腐蝕臺(tái)。非標(biāo)規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝
