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無塵車間設計需要些參數1、所屬行業2、凈化等級、溫濕度要求3、吊頂高度、層高、梁下高度4、建筑平面圖人物流方向5、凈化車間內所有設備的發熱量、功率6、需要設計排風7、給水、排水的位置8、工作人員總數，男女比例無塵車間技術應用無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數，一直是潔凈室設計中受到關注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關規范、導則等提出的推薦或參考值偏于保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對采用FFU回風系統也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來，受到關注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。濕度過生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。步入無塵車間前期準備工作1、整肅儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則系:(1)頭發必須完全覆蓋在帽內，不得外露。(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。2.無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態，無塵衣不可反穿。3.穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實蓋在褲管之上。4.戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應將手套之手腕置于衣袖內，以隔絕污染源。5.無塵衣著妥后，經洗塵，并踩踏除塵毯，方得進入無塵室。6.不論進入或離開無塵室，須按規定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區域為之，尤不可在無塵室內邊走邊脫。
