無塵潔凈室它是懸浮粒子濃度受控,其建造和使用方式使得進入、產生、滯留于室內的粒子少的房間。室內的其它參數包括:溫度、溫度、氣壓等,按需要受控。
潔凈室采用頂送底排的紊流型空氣潔凈方法,潔凈室外的非潔凈空氣被吸入中效送風箱,須經過初中效過濾后,經過送風管道送入潔凈室頂部的保溫送風口中,經過濾后進入潔凈室內部,從而使潔凈室內達到所需的潔凈度。進入潔凈室內的潔凈空氣再由潔凈室底部的回風窗流入頂部的回風管,再經回風管回到機房進入中效送風箱,形成循環。在循環的中間還設置空調機系統,對循環空氣進行溫濕度控制。
潔凈等級劃分:十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等靜態。聯邦209E標準:每立方英尺空間內粒徑為0.5um的粒子不超過個。
潔凈室內的建筑材料不產生粒子且便于清潔。