真空泵是用各種辦法在某一關(guān)閉空間中發(fā)生、改進(jìn)和維持真空的設(shè)備。真空泵能夠界說(shuō)為：運(yùn)用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的辦法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而取得真空的器件或設(shè)備。跟著真空運(yùn)用的開展，真空泵的品種已開展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。按真空泵的作業(yè)原理，真空泵基本上能夠分為兩品種型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。跟著真空運(yùn)用技術(shù)在出產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其運(yùn)用壓強(qiáng)規(guī)模的需求越來(lái)越寬，大多需求由幾種真空泵構(gòu)成真空抽氣體系一起抽氣后才能滿意出產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的需求，因?yàn)檎婵者\(yùn)用部分所涉及的作業(yè)壓力的規(guī)模很寬，因而任何一品種型的真空泵都不可能徹底適用于一切的作業(yè)壓力規(guī)模，只能依據(jù)不一樣的作業(yè)壓力規(guī)模和不一樣的作業(yè)需求，運(yùn)用不一樣類型的真空泵。為了運(yùn)用方便和各種真空技術(shù)過(guò)程的需求，有時(shí)將各種真空泵按其功能需求組合起來(lái)，以機(jī)組型式運(yùn)用。各種真空泵的作業(yè)原理往復(fù)式真空泵（簡(jiǎn)稱往復(fù)泵）又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設(shè)備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)較大等。其在很多場(chǎng)合可由液環(huán)式真空泵所取代往復(fù)泵的結(jié)構(gòu)和工作原理如圖所示，主要部件有氣缸1及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞2，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)3（包括十字頭）來(lái)完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過(guò)程，此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達(dá)到或稍大于一個(gè)大氣壓時(shí)，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，被抽容器內(nèi)終達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來(lái)