真空泵是用各種辦法在某一關閉空間中發生、改進和維持真空的設備。真空泵能夠界說為：運用機械、物理、化學或物理化學的辦法對被抽容器進行抽氣而取得真空的器件或設備。跟著真空運用的開展，真空泵的品種已開展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。按真空泵的作業原理，真空泵基本上能夠分為兩品種型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。跟著真空運用技術在出產和科學研究領域中對其運用壓強規模的需求越來越寬，大多需求由幾種真空泵構成真空抽氣體系一起抽氣后才能滿意出產和科學研究過程的需求，因為真空運用部分所涉及的作業壓力的規模很寬，因而任何一品種型的真空泵都不可能徹底適用于一切的作業壓力規模，只能依據不一樣的作業壓力規模和不一樣的作業需求，運用不一樣類型的真空泵。為了運用方便和各種真空技術過程的需求，有時將各種真空泵按其功能需求組合起來，以機組型式運用。各種真空泵的作業原理如羅茨泵（機械增壓泵）機組經作業一段時間后，羅茨泵內發作反常雜音，則可能有以下緣由：1、羅茨泵的發動壓力太高，形成泵的機件過熱而受損（有些機械增壓泵經特別規劃后，也能夠在大氣壓下發動）。2、在生產工藝中發作的較大的磨耗性粒子進入羅茨泵內部形成機件磨損。3、泵的安放方位不對，例如：歪斜置放。泵內的潤滑油的油量不適合。以上各緣由均會導致羅茨泵的機件（轉子、定子、軸承與齒輪等）精密度變差或受嚴重污染，從而使羅茨泵在作業中發作反常雜音。當發現泵在作業中發作反常雜音后，應當即查看泵的發動壓力是不是符合規則值，可用電流表查看泵電機的輸入電流是不是符合額定值，有無反常的高或低。還應查看泵內潤滑油的狀況及泵的安放方位是不是適宜。發現問題后，要當即采納相應的辦法處理。羅茨真空泵作業時轉子與轉子，轉子與泵體互相不觸摸，因而沒有直接磨損，但由于空隙很?。ㄍǔ?.10～0.25mm），經長時間作業后傳動齒輪磨損，當齒側空隙大于轉子間小空隙時，將發作相碰而發作毛病，此刻則應替換齒輪。通常在作業一年則應進行大修一次，查看齒輪及軸承的磨損狀況，查看密封裝置，替換密封圈（環），查看轉子腐蝕狀況，轉子結垢狀況，泵體內外表腐蝕狀況和結垢狀況。清潔丈量磨損超出規則尺度時，應調整空隙或替換零件。