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關于本套機組而言,那末選用正常氣路計劃計劃,在干泵粗抽時,氣體要先通過兩個構造簡單、流阻大的分子泵才能排到大氣,關于較大的屑細選用這種計劃抽氣時刻較長,是不可取的。咱們滿足運用干泵不會對真空屑細構成油凈化的利益,又運用1By6型干泵的大抽速功用,對原有氣路增多了一套旁路(見圖5),作業內中是:①打開閥門V1、V2,發起干泵P3,打開低真空計G2,抽除真空室及兩個分子泵中的氣體;②當低真空計G2的指示到達100Pa時,打開閥門V2,發起牽引分子泵P2,打開真空計G1;③待到達ATP100的發起壓強后,打開渦輪分子泵P1。圖5帶旁路分子泵機組氣路示意圖泵間配總核算白文以N2為例持續合算,通過圖5中帶旁路計劃的作業內中①②,依據圖2(P2的抽速曲線),可合算較大排器量為Q=300Pa·L/s,又依據P2的較大出氣口壓力必定,可合算出P2需前級泵的抽速S干
