產品分類 更多>>
提高加熱爐熱效率的主要措施：（1）采用、大能量的燃燒器，提高燃燒質量。（2）監控煙氣中的氧和一氧化碳含量，降低過剩空氣系數。（3）增設空氣預熱器或余熱鍋爐，回收煙氣余熱。（4）對流室采用釘頭管或翅片管，設置自動吹灰器，強化對流式的傳熱過程，使之多吸收熱量。（5）采用低傳熱系數的耐火絕熱材料，降低爐壁散熱損失。（6）加強堵漏，減少漏入爐膛的空氣量。（7）采用計算機或數字控制儀進行.佳燃燒控制。管式爐按爐型分為：立式爐、圓筒爐、大型方爐；按用途分為：化學反應爐、加熱液體的爐子、氣體加熱爐、加熱混合相流的爐子。管式爐分：1，真空管式爐、氣氛管式爐2，普通管式爐、旋轉管式爐、多工位管式爐3，分體管式爐、一體管式爐、立式管式爐、臥式管式爐4，單溫區管式爐、雙溫區管式爐、三溫區(多溫區)管式爐反應室中的反應是很復雜的，有很多必須考慮的因素，沉積參數的變化范圍是很寬的：反應室內的壓力、晶片的溫度、氣體的流動速率、氣體通過晶片的路程(如圖所示)、氣體的化學成份、一種氣體相對于另一種氣體的比率、反應的中間產品起的作用、以及需要其它反應室外的外部能量來源加速或誘發想得到的反應等。額外能量來源諸如等離子體能量，當然會產生一整套新變數，如離子與中性氣流的比率，離子能和晶片上的射頻偏壓等。然后，考慮沉積薄膜中的變數：如在整個晶片內厚度的均勻性和在圖形上的覆蓋特性(后者指跨圖形臺階的覆蓋)，薄膜的化學配比(化學成份和分布狀態)，結晶晶向和缺陷密度等。當然，沉積速率也是一個重要的因素，因為它決定著反應室的產出量，高的沉積速率常常要和薄膜的量折中考慮。反應生成的膜不僅會沉積在晶片上，也會沉積在反應室的其他部件上，對反應室進行清洗的次數和徹底程度也是很重要的。
