管式加熱爐主要類型簡介：按爐體形狀劃分，可以分為:箱式爐、立式爐、園筒爐和無焰爐等。1、箱式爐有斜頂爐和方箱爐，這種爐型歷史悠久，是應用較早的爐型。其長、寬、高大致接近，輻射室和對流室用火墻隔開，火嘴裝于側壁，煙囪設于爐外，爐管水平排列。2、立式爐爐膛為長方形，輻射管排于爐兩側，對流管排在輻射室上部的對流室中，爐底部設有兩排火嘴，爐中間砌一堵花墻，噴火嘴在花墻兩邊燃燒。3、圓筒爐與立式爐相似，方型的對流室位于輻射室上部，煙囪安裝在對流室的上部，并裝有煙道擋板，可調節風量，火嘴在爐底中央，火焰向上噴射。其與立式爐不同的是輻射室為圓筒式，輻射管沿圓周垂直排列成一圈，對流管分立式和水平兩種。4、無焰爐其外型與立式爐相似，爐中間排輻射管，頂部排對流管，兩側爐墻布滿火嘴，燃燒的速度快，在燃燒道里完成燃燒的全部過程，因此沒有火焰。主要功能和特點：1、爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，節能。2、加熱元件采用合金絲，經久耐用,溫度可達1200℃。3、采用雙層殼體結構，結合熱感應技術，配有風冷系統，使爐體表面溫度快速降溫。4、采用RK快速法蘭連接，減少了加熱管損壞的可能，取、放物料更加方便快捷。5、上開式爐蓋設計，可以實時觀察加熱的物料，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要；6、智能PID高精度控制，自整定功能，30段可編程控制，可設置30段升降溫程序,實現了功率無損耗。7、預留真空、氣路快速接口，配合我司真空、混氣系統使用；滿足用戶在不同的真空狀態及不同的氣氛條件下進行實驗。8、預留485轉換接口，通過我司專用軟件，與計算機互聯，可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；9、具有開啟斷電，超溫報警，漏電保護等安全操作功能。目前，在中國微波法PECVD系統占據市場的主流，而管式PECVD系統也占據不少份額，而島津的板式系統只有5~6條生產線在使用。直流法PECVD系統還沒有進入中國市場。除了上述幾種模式的PECVD系統外，美國的AppliedMaterial公司還開發了磁控濺射PECVD系統，該系統使用磁控濺射源轟擊硅靶，在氨氣的氣氛中反應濺射，形成SiNx分子沉積到樣品表面。這種技術的優點是不使用易爆的硅烷氣，安全性提高很多，另外沉積速率很高。如果按照PECVD系統所使用的頻率范圍，又可將其分成以下幾類：■0Hz：直流間接法——OTB公司■40KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和AppliedMaterial公司的磁控濺射系統■250kHz：島津公司的板式直接法系統■440kHz：Semco公司的板式直接法■460kHz：Centrotherm公司管式直接法■13.6MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系統■2450MHz：Roth