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產品簡介
OWT-200采用PHYS技術，對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整
度進行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高精度測量的性價比在同類測試儀器中是無可比擬的。
特征
■無接觸無損傷測量
■高度及重復性
■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干擾強，穩定性好
■強大的工控機控制和大屏幕顯示
■一體化設計操作更方便，系統穩定
■為晶圓硅片關鍵生產工藝提供的無接觸測量
■超高測試速度
技術指標
■測試尺寸：50mm-200mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
■ 厚度測試精度： /-0.1um
■ 厚度重復性精度：0.050um
■ TTV 測試精度: /-0.1um
■ TTV重復性精度: 0.01um
■ Warp/Bow精度: 0.2um
■ Warp/Bow重復度: 0.5um
■測量時間: <100秒
■ 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
■ 尺寸: 560X650X400mm
■ 電源：220V 50HZ 300W
主要客戶：歐洲、美洲、臺灣等地區藍寶石生產企業
