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產品介紹:
Tropel®FM200®為精密部件的制造商提供了業界領先的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。FM200能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。
產品特點：
■ 無接觸和無損傷測量
■ 適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面
■ 測量多種不同指標：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統：
三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實現自動、快速、準確、穩定的測量
■ 超過15年的工業應用，全球幾百臺的裝機量
技術參數：
■ 精確度：50nm （2.0μ″）
■ 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可測量工件尺寸：25mm-200mm
■ 動態測量范圍：>100um
■ 測量數據點：230,000 / measurement
■ 測量時間：5秒
■ 電源：～220V 50Hz
典型客戶:
國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
國內：塞維，重慶四聯，中電46所，山東大學，大連理工大學，中國科學院半導體所，中國科學院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍晶，青島嘉星晶電，天科合達，大慶佳昌……
