產品介紹:
SQM-500W表面質量檢測系統用于對樣品表面清潔質量進行檢測與分析。
SQM系列產品的重大突破是首次提供表面清潔度的定量分析。可以對各種表面上的污染進行非接觸無損傷的快速準確的測量。結果能夠為優化表面清潔工藝提供真實的分析,為產品品質提供有力可信的,是公司利潤和信譽提供必不可少的保障。
產品特點:
■ 各種材料表面:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰/金屬
■ 各種污染:有機的和無機的污染物
■ 可對清潔度定量分析
■ 可對清潔度等級設定
■ 對新的清潔工藝進行評估,優化工藝
■ 可以檢測到難以觀測到的薄膜
■ 測量薄膜厚度
■ 在線和離線可選擇
■ 樣品不需要其他準備動作,可直接檢測,方便快捷
■ 非接觸,無損害
■ 精度可達埃米
型號 功能簡介
SQM200W 單通道系統,檢測表面清潔度。自動儲存。
系統功能包含上下限設定,模擬信號輸出及接受拒絕指示。
SQM300W SQM200W 有機和無機薄膜厚度,過程控制圖表。
SQM400W
(僅針對NASA,對其他所有客戶不銷售) 多通道系統,檢測表面清潔度,有機和無機薄膜厚度。
系統功能包含上下限設定,模擬信號輸出及動靜指示。
模塊化系統,允許用戶定義多通道,5分鐘內替換其子裝備,可操作性強。
SQM500W 集成掃描,3D彩色圖形系統,可檢測不可見的污染物,使其直觀可見。
包含電動系統和控制X-Y掃描臺。是檢測和分析表面化學變化的強大工具。
SQM600W 集成掃描,3D彩色圖形系統,可檢測不可見的污染物,使其直觀可見。
包含電動系統和控制旋轉掃描臺及線性軌道。
是檢測和分析表面化學變化的強大工具。