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產品簡介
PHYS-R80 無接觸厚度電阻率測試儀是一款用于硅片的厚度、電阻率測量的儀器，該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設計都符合ASTM(美國材料實驗協會)和Semi標準，確保與其他工藝儀器的兼容與統一。
特征
■無接觸無損傷測量
■電阻率和厚度同時測量
■適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料
■電腦觸摸屏顯示
■抗干擾強，穩定性好
■強大的工控機控制和大屏幕顯示
■一體化設計操作更方便，系統穩定
■為晶圓硅片關鍵生產工藝提供的無接觸測量
技術指標
■測試尺寸：50mm- 300mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
■ 厚度測試精度： /-0.25um
■ 厚度重復性精度：0.050um
■ TTV 測試精度: /-0.05um
■ TTV重復性精度: 0.050um
■電阻率測試范圍：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■ 電阻率測試精度： /- 2%
■ 電阻率測量重復精度： /- 1%
■ 晶圓硅片導電型號：P 或 N型
■ 材料：Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有半導體材料
■ 可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質量檢測等
■平面/缺口：所有的半導體標準平面或缺口
■ 硅片安裝：裸片，藍寶石/石英基底，黏膠帶
■ 連續5點測量
應用范圍
> 切片
>>線鋸設置
>>>厚度
>>>總厚度變化TTV
>>>電阻率
>>監測
>>>導線槽
>>>刀片更換
>磨片/刻蝕和拋光
>> 過程監控
>> 厚度
>>總厚度變化TTV
>> 材料去除率
> 研磨
>> 材料去除率
> 終檢測
>> 抽檢或全檢
>> 終檢厚度
>> 終檢電阻率
