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MKS1559A氣體質量流量計
1559A大流量控制器
1559是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范圍進行氣體的質量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559的控制閥門能夠消除振蕩、具有更好的響應時間。它的這個特點是通過使用一“平衡力”閥門的設計來實現的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內部的非平衡狀態。1559的精度為全量程的±1％。
用于1559A的電纜線
CB259-5-10用來將1559連接至PR4000, 246, 247
（如要在247上連接2個以上的通道，需要添加一個電源，請用CB1559-1-10）
CB147-1-10用來將1559連接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用來連接1559A、247D和260PS
更多產品資料請致電4006162939咨詢
