美國MKS 2179A質量流量控制器(帶截止閥)
2179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,它帶有一個關閉閥,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器,它還可以用作壓力控制器。
常閉的氣密關閉閥門正向關閉時的泄漏量僅為4 x 10-9 scc/sec(He)。它具有數字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%和讀數的1%。2179A具有很小的功耗:在常規直流±15V供電工作時,單元電流僅有100mA(在初開機階段為200mA)。
更多產品資料請致電4006162939咨詢