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型號
FSF-100/120
抽氣速率（l/s）
120
壓縮比
N2：108
H2：5×102
極限壓強(qiáng)(Pa)
LF:≤6×10-8
CF:≤6×10-7
電機(jī)轉(zhuǎn)速（n/min）
24000
啟動時間（min）
＜2
軸承
陶瓷軸承
排氣口法蘭
KF25
進(jìn)氣口法蘭
LF100/CF100
小不平衡量（mg）
15
建議前級泵（L/s）
2
冷卻方式
水冷 風(fēng)冷
冷卻水溫度（℃）
<20
環(huán)境溫度（℃）
風(fēng)冷<32水冷<40
泵體烘烤溫度（℃）
≤100
充油量(ml)
12
安裝方式
豎直±5°
重量（kg）
8.5
