型號
FSF-100/120
抽氣速率(l/s)
120
壓縮比
N2:108
H2:5×102
極限壓強(Pa)
LF:≤6×10-8
CF:≤6×10-7
電機轉速(n/min)
24000
啟動時間(min)
<2
軸承
陶瓷軸承
排氣口法蘭
KF25
進氣口法蘭
LF100/CF100
小不平衡量(mg)
15
建議前級泵(L/s)
2
冷卻方式
水冷 風冷
冷卻水溫度(℃)
<20
環境溫度(℃)
風冷<32水冷<40
泵體烘烤溫度(℃)
≤100
充油量(ml)
12
安裝方式
豎直±5°
重量(kg)
8.5