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型號
FSF-250/1600
抽氣速率（l/s）
1600L/S
壓縮比N2
>109
壓縮比H2
>8×104
極限壓強(Pa)
<2×10-8
<1×10-7
高真空法蘭
LF250
CF250
排氣口法蘭
KF50
啟動加速時（min）
<7min
電機轉速（n/min）
24000n/min
最小不平衡（mg）
15mg
建議采用前級泵
機械泵15L/S
充油量（ml）
/
安裝方式
垂直±5°
冷卻方式
水冷或風冷
冷卻水溫度
<20℃
環境使用溫度（℃）
風冷<32℃ 水冷<40℃
泵體烘烤溫度（℃）
<100℃
泵重量（kg）
40kg
外形尺寸（mm）
Φ340×427
