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真空艙體 Φ150mm × L320 mm 水平 (5 升
*石英/玻璃艙體Φ130mm,L300mm艙體容量：約4升/5升
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發生器
* 針孔電極
* 數字計時器可自動設定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設定重復操作
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續可調 0-200W
* 自動阻抗匹配
* 自由設置參數：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入反應艙
* 規格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B (2.5 m3/h)
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器
* 2.45 GHz 射頻發生器
* 硅酸鹽艙體(外置環形電極)或石英艙體
配件選裝指南
