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* 真空艙體(等離子反應艙): Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
* 艙體容量:約2升
* 不銹鋼艙體
* 射頻發生器頻率 : 40KHZ,13.56MHZ, 2.45GHZ 可選
* 針孔電極
* 銅氣體管、氣體流量計、針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 控制系統:半/全自動控制 ,電腦控制,液晶觸摸屏控制
* 功率連續可調 0-100W
* 自動阻抗匹配
* 自由設置參數：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 外形尺寸：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type S1.5(1.5m3/h)
選裝件 ：* 13.56 MHz 射頻發生器 * 2.45 GHz 射頻發生器 * 硅酸鹽艙體(外置環形電極)或石英艙體
