氦質譜檢漏儀介紹

氦質譜檢漏儀（Helium Mass Spectrometer Leak Detector）是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

常用名詞解釋：

漏率：測量單位Pa·m³/s：表示每秒向體積為1m³的容器充入1Pa的壓強。一個漏孔漏率大小與溫度、壓差、氣體種類有關。 科學計數法：用指數形式表示數值，如1.7E-8表示1.7×10^-8。

最小可檢漏率：在工作條件下，以一個大氣壓的純氦作為示漏氣體，檢漏儀能檢出的最小漏孔。

反應時間：檢漏儀顯示值上升到值的0.63倍時所需時間。

氦本底：由于被檢件和檢漏儀中殘余氦氣不能及時清除，造成的本底信號。  

檢漏口壓強：檢漏儀內檢漏閥開啟所需要的壓強條件。

氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為10^-9～10^-12Pa·m³/s，廣泛地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減小。其靈敏度可達10^-14～10^-15Pa·m³/s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點。適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10^-12Pa·m³/s。

氦質譜檢漏儀檢漏方法

氦質譜檢漏方法常見的有真空法檢漏、真空壓力法檢漏、正壓法檢漏以及背壓法檢漏四種檢測方法，這四種氦質譜檢漏法的檢測原理不同，檢測的優缺點及檢測的標準也有所差別。

氦質譜檢漏儀應用領域

氦質譜檢漏儀應用領域比較廣泛，涵蓋了航空航天/電廠電力/分析儀器/汽車制冷/核工業/儀器儀表/壓力容器/半導體/閥門/管路管道/包裝/新材料/新能源/真空爐/真空鍍膜等行業。

氦質譜檢漏儀廠家介紹

安徽博為光電科技有限公司是一家集自主研發、生產、銷售的氦質譜檢漏儀企業，年產量可達1000臺以上，客戶遍及全國各地，應用領域涉及近百種行業。

氦質譜檢漏儀主要技術參數

最小可檢漏率：5×10^-13Pa?m³/s

漏率顯示范圍：1×10^-3—1×10^-13Pa?m³/s

啟動時間：≤3min

響應時間：≤1.0s

檢漏口的極限壓力：1000Pa

機械泵抽速：4L/s

電源要求：220V，50Hz，單相，10A

工作環境：0-40℃

相對濕度：≤80%

外形尺寸：550(W)í420(D)í700(H)

重量：65kg

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