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移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國普發 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設計研發, 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內置2臺渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產設備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者！
氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 通過 CE 認證, ETL 認證, UL61010 合規, 完全符合 Semi S2 標準
上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:
型號 | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 已停產 |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | ||
檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s | ||
對氦氣的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 內置2臺分子泵 | 7 l/s |
前級泵抽速 | 35 m3/h | ||
進氣口壓力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
無校準的啟動時間(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
進氣口 | DN 40 ISO-KF | ||
響應時間 | < 1 s | ||
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 可用于半導體相關行業和平板顯示器行業以及其他要求極高的應用
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請聯絡上海伯東葉女士,分機109
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