產品分類 更多>>
加工定制
是
類型
表面粗糙度儀
品牌
英國泰勒
型號
Talysurf CCI
測量范圍
詳見說明
測量參數
詳見說明
取樣長度
詳見說明（mm）
評定長度
詳見說明（mm）
掃描長度
詳見說明（mm）
電源
詳見說明
重量
詳見說明（kg）
外型尺寸
詳見說明（mm）
技術參數(1) 類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。
主要特點?專利的相干相關算法
?0.01nm分辨率
?10-20秒測量時間
?RMS重復性：0.03A
儀器介紹Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（專利技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
分析方法1.Noncontact measurement for 3D surface profiling
