白光干涉儀供應商,白光干涉儀批發,白光干涉儀價格,白光干涉儀圖片AE-100M
產品用途
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點,可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含
產品特點
● 納米深度3D檢測
● 高速/無接觸量
● 表面形狀/粗糙度分析
● 非透明/透明材質皆適用
● 非電子束/非鐳射的安全量測
● 低維護成本
級的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo)
● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
● 提供自動表面平整化處理功能
● 提供高階標準片的軟件自校功能
● 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式
● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Rorghness)與起伏度
● (waviness)的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據(Wafer)
● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。
● 具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換(FFT)處理功能。
● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解體軟體(ImaScan)
● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋
● 垂直高度可達0.1nm
● 高度的分析算法則,讓你不在苦候測量結果
● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺XYZ位置數顯示,使檢標的尋找快速又便利
● 具有手動/自動光強度調整功能以取得的干涉條紋對比。
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。
● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
● 具有自動布補點功能
● 可自行設定掃描方向
技術規格參數
型號 AE-100M
移動臺(mm) 平臺尺寸100*100 ,行程13*13
物鏡放大倍率 10X 20X 50X
觀察與量測范圍 0.43*0.32 0.21*0.16 0.088*0.066