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主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))流量出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) 項(xiàng)目 S49 32/MT
1 流量規(guī)格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥
3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉
4 準(zhǔn)確度 ±1.5%F.S
5 線性 ±1.5%F.S
6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S
7 響應(yīng)時(shí)間 ≤8秒（T95）
8 工作壓差范圍 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9 耐壓 3MPa; 10MPa
10 工作環(huán)境溫度 （5～45）℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton?， EPDM， 或其他由用戶
13 漏率 1×10-8Pa.m3/s
14 接頭 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶
15 輸入輸出信號(hào) （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA)
16 供電電源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸mm 130（寬）×102（高）×28（厚）
18 重量kg 0．8
