S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點： 　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。 　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。 　　　☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定。 　　　☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。 　　　☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計量。 　　　S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域： 　　　半導體制造行業的氣體流量控制； 　　　分析儀器設備的氣體計量與控制； 　　　各種形式的真空鍍膜設備； 　　　環境檢測與分析設備； 　　　化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制； 　　　特種材料表面處理裝置與燃燒控制； 　　　混氣配氣系統和泄露探測系統等。 主要技術指標 　　　質量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。 　　　質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業標準) 　　　　　　　　　　　　L/min （升/分鐘）。 (SLM行業標準) 　　　標準狀態為：溫度----273.15K（0℃）； 　　　 氣壓----101325Pa(760mmHg) 　　　F.S(Full Scale):表示滿量程值 表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標 編號 項目 S49 32/MT 1 流量規格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min 2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 4 準確度 ±1.5%F.S 5 線性 ±1.5%F.S 6 重復精度 ±0.2%F.S 7 響應時間 ≤8秒（T95） 8 工作壓差范圍 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環境溫度 （5～45）℃ 11 材料 不銹鋼316L 12 標準密封材料 Viton?， EPDM， 或其他由用戶 13 漏率 1×10-8Pa.m3/s 14 接頭 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶 15 輸入輸出信號 （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) 16 供電電源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外形尺寸mm 130（寬）×102（高）×28（厚） 18 重量kg 0．8