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SURAGUS 方阻測試儀 薄膜電阻測試儀
SURAGUS EddyCus TF lab 2020 薄膜電阻和厚度測試儀
TF lab系列產品是一款適合實驗室研發或成品檢測使用的薄膜面電阻（方塊電阻）及薄膜厚度測量的儀器。
特點
非接觸與實時測量
精確的單點測量
依據多層系統的表征要求
由一個易于操作的軟件所引導的手工電阻分布圖
參數
面電阻（方塊電阻）（歐姆/平方）
金屬層厚度（nm、μm）
金屬基板厚度（μm）
各向異性
缺陷檢測
完整性評定
應用
建筑玻璃（LowE）
觸摸屏和平板顯示器
OLED和LED應用
智能玻璃的應用
透明防靜電鋁箔
光伏
半導體
除冰和加熱應用
電池和燃料電池
包裝材料
材料
金屬薄膜和柵格
導電氧化物
納米線膜
石墨烯、CNT（碳納米管）、石墨
打印薄膜
導電聚合物（PEDOT:PSS）
其他導電薄膜及材料
規格參數
面電阻（方塊電阻）測量技術：非接觸式渦流傳感器
基板：例如：箔片、玻璃、晶圓，等等
基板面積：8 inch/ 204 x 204 mm （三面是開放的）
最da樣品厚度/傳感器間隙：1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm（由最厚的樣本確定）
薄膜面阻的范圍：
低 0.0001 - 10 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度
標準 0.01 - 1,000 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度
高 10 - 100,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
金屬膜的厚度測量：（例如：銅）：2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)
裝置尺寸（寬/厚/深）： 290 x 140 x 445 mm / 11.4 x 17.5 x 5.5 inch
重量： 10 kg
可用特色：薄膜面阻測量/金屬厚度測試儀
