1、凈化原理氣流→初、中效凈化→空調(diào)→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→凈化風(fēng)口→吹入房間→回風(fēng)百葉風(fēng)口→帶走塵埃等顆粒→重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。凈化參數(shù)換氣次數(shù)：100K級(jí)≥25次；10K級(jí)大于等于35次，1K大于等于45次。壓差：主無(wú)塵室對(duì)相鄰房間≥5Pa2、無(wú)塵室的分類無(wú)塵室依等級(jí)的不同在氣流設(shè)計(jì)上面有所區(qū)別，一般可分為垂直層流方式（Class1-100）、水平層流方式（Class1-1000）、亂流方式（Class1000_100000）潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。凈化方法空氣凈化方法整體凈化：可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側(cè)全面地以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)產(chǎn)生的塵粒或細(xì)菌不會(huì)向四周擴(kuò)散而被平推出室外，而達(dá)到好的除菌效果。⑴過(guò)濾除菌技術(shù)：空氣潔凈主要靠或超過(guò)濾設(shè)備，向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過(guò)濾潔凈原理：①網(wǎng)截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運(yùn)動(dòng)阻留。因此，過(guò)濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結(jié)果。⑵濾材結(jié)構(gòu)：生物潔凈室所用濾材級(jí)別多數(shù)為或超濾材，所用濾材有：玻璃棉制濾材、紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過(guò)氯乙烯纖維濾材等。濾材對(duì)空氣中0.5μm的顆粒的阻留率能達(dá)到90%~99%，超濾材可阻留0.3μm的顆粒99.9%以上。