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質量流量計、質量流量控制器質量流量計控制器采用320*240彩色觸摸屏。全中/英文界面，清洗，關閉，控制，規格量程，氣體種類，一鍵式操作。顯示界面直觀，操作簡便產品創新點傳感器芯片技術ZF—MFC-質量流量計控制器采用了傳感器.使精度，溫漂，環境的劇烈變化影響得到極大的提高無毛細管技術通氣口徑達到6mm,對粘度較大，含雜質氣體能精度。如硫化氫氣體等。超微流量控制小流量分辨率0.01ml/min并能控制觸摸屏功能ZF—MFC-2產品采用新技術，所有量程，氣體切換一鍵搞定，操作方法一目了然，并有中英文可隨意選擇，強大的操作功能,可以完全兼容所有廠家的客戶端接口高精度快響應ZF—MFC-3質量流量計控制器,產品準確度采用設定點精度，顯示精度，標定精度三點精度可達0.5%FS，響應時間≤200m質量流量計使用注意事項對于反應系統，建議在氣體質量流量計控制器的出流端加裝單向閥，以防止異常情況下反應物倒流損壞質量流量計控制器。對于高壓系統，應在氣體質量流量計控制器的下游加裝背壓閥，氣體質量流量計的工作壓力。注意加裝過濾器以凈化氣源，延長質量流量計控制器的使用壽命。對于硅烷這樣的遇氣體易形成結晶的氣體，應特別注意系統的密閉性，必要時設計清洗旁路，隨時進行氮氣吹洗或過壓保持。有高頻源的系統應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題。對于高真空系統注意各路接頭盡量減少，并采用VCR等接頭質量流量計控制器的安裝位置應易于裝卸，檢測，調零并安全。對精度特殊要求極高的系統應注意冗余設計注意正確使用操作.對于比較復雜的系統或使用特殊氣體的系統，應當建立自己的操作規程。注意輕拿輕放妥善保管，質量流量控制器非常精密，應避免受到撞擊和震動，產品不用時注意放在較好環境中妥善保管。注意定期標定，如果自帶標定裝置可以省去。注意使用氣體與流量計的密封材料相適應。質量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠，能適應大多數氣體的使用，包括HCL這樣的強腐蝕氣體，但對于氨氣必須使用耐氨橡膠，對于有機溶劑類氣體，如丙酮，甲苯等必須使用硅橡膠，對于使用三氯化硼，三溴化硼等強腐蝕性介質，必須使用四氟密封或金屬密封,流量計用戶在訂貨時必須注意
