D07-7B氣體質量流量控制器流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm產品精度±1.5%F.S.重復精度±0.2%FS線性±1%F.S.響應時間≤10sec工作溫度范圍(5~45)°C耐壓3MPa密封材料氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠)Neoprene輸入輸出信號(0~5)VDC電源±15V閥類型常閉溫度系數-無-零點飄移指標-無-電氣連接Dsub15pinsFemale工作壓差范圍(0.1~0.5)MPa漏率1×10-8atm?cc/secHe(1×10-9Pa?m3/secHe)標準接頭形式雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭表面化學成分-無-表面粗糙度-無-抗電磁干擾-無-重量1.1Kg氣體質量流量計儀表檢定一對氣體質量流量計的檢定有:(1)幾何檢驗法(2)系數檢定關于幾何檢驗法見檢定規程的介紹,這里不再重復。下面對系數檢定法涉及的相關計算式及方法進行簡單介紹二計算公式v=aA√2/j(p-q)v--體積j--液體密度a--流量系數,與流道尺寸取壓方式和流速公布有關A--孔板開孔面積p-q--壓力差孔板計算流出系數C的公式(筆者整理)雷諾數可按照相關公式計算,如:雷諾數eDR的常用計算公式9傳感器的各項基本誤差限應符合表8規定準確度等級0.51.01.52.55.0基本誤差限?0.5?1.0?1.5?2.5?5.0重復性上限0.250.50.751.252.5表8傳感器誤差要求以上有關檢定的資料供有檢定裝置的用戶參考,如有與JJG640-1994檢定規程相違之處,應以規程為準。流量計品種較多,目前市場上經常使用的差壓式流量計有:孔板流量計、V錐流量計、阿牛巴流量計、威力巴流量計、托巴管流量計、彎管流量計、明渠流量計等。熱式質量流量計、質量流量控制器生產廠家熱式氣體質量流量計既可進行氣體流量計量工作,也可用于