材料: >99.999% 單晶藍寶石 Al2O3 KY
晶向: C-axis(0001) to M (1-100) 0.2°±0.1°
直徑: 200.0 +/- 0.1mm
厚度:
1000 +/-25um
定位邊: A-Plane ± 0.1°,或無定位邊圓片(光學應用)
表面質量:
研磨/拋光
正面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm
反面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm
TTV: <60 um
BOW: <60 um
Warp : <60 um
光學級:
60/40, 40/20
包裝:百級無塵室包裝,單片盒裝。