生產型研究用光學鍍膜 光學元件原子級清洗鍍膜系統 光學元件原子級拋光鍍膜設備概述： NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統提供先進的技術，在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。 一、光學元件原子級拋光鍍膜設備應用： Optical Coatings 光學涂層 Sputtering 濺射 IBAD IBAD離子束輔助沉積 Ion Beam Etching Cleaning 離子束刻蝕清洗 Ion Beam Assisted Reactive Etching 離子束輔助反應刻蝕 Infrared Coatings 紅外涂層 Surface Treatment 表面處理 二、光學元件原子級拋光鍍膜設備產品特點: RF Biasable Platen RF射頻偏壓樣品臺 Thickness Monitor 膜厚監測儀 5x10-7 Torr Base Pressure 極限真空5x10-7Torr High Accuracy and Repeatability 高精度及高重復性 High Quality Films 高品質膜層 Atomic Level Clean Surfaces 原子級的潔凈表面 Atomic Cleaning and Polishing 原子級清洗和拋光 PC Controlled with LabVIEW 通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制 Automatic Load/Unload 自動上下載片 Automatic Transfer Between Chambers 兩個腔體之間自動傳送 Recipe Driven, Password Protected 菜單驅動，4級密碼訪問保護 Safety Interlocks 完整的安全聯鎖 46”D x 44”W Footprint 占地面積46”D x 44”W 三、光學元件原子級拋光鍍膜設備選配項: Sputter Down/Up 向下/向上濺射 Co-Sputtering 共濺射 DC, RF and Pulsed Power Supplies DC，RF以及脈沖電源 Ion Beam Assisted Deposition 離子束輔助沉積 E-Beam Sources 電子束源 Plasma Sources 等離子源 那諾中國有限公司///生產型研究用光學鍍膜