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Aerotech超精密氣浮轉臺
聯系人 葉振南 186-0036-4311
gkyezhennan@163.com
自1970年Aerotech開始研制較高性能的運動控制產品和精密定位系統，這些產品廣泛應用于世界范圍內的工業制造、及自然科學研究等行業。Aerotech能夠為生命科學及醫學設備，半導體加工，光子學，數據存儲，激光應用，航空和國防，電子產品制造、測試及裝配等行業的研究和發展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應用苛刻要求的高性能精密運動控制產品。
ABRS超精密轉臺
ABRS氣浮軸承精密運動轉臺擁有一個低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，卓越的速度穩定性以及極小的運動誤差。ABRS精密轉臺的設計應用于硅片檢測，高精度測量，激光衍射系統，光學檢測和制造以及納米制造技術。
特點:
1. 無刷無槽力矩電機直接驅動
2. 卓越的速度穩定性（無齒槽效應）
3. 佳的運動性能，誤差小，無抖動
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 扁平結構設計
6. 氣浮軸承，無機械接觸
臺面直徑：128~278mm
反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec
雙向重復定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
異步軸跳： 20nm
異步徑跳： 20nm
1專為硅片檢測，X射線衍射系統，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
2無刷無槽伺服電機直接驅動
3突出的速度穩定性，波動率低于萬分之一（電機無接頭效應）
4卓越的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯高精度旋轉編碼器
6扁平結構設計
7無機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm
