● 較高測量精度:Height (Z) :0.5μm
● 重復精度:Height :below 1.2μm , Volume :below 1%
● 放大倍率:50X
● 光學檢測系統:黑白200萬像素 CCD
● 激光發生系統:紅光激光模組
● 自動平臺系統:全自動
● 測量原理:非接觸式激光束
● X/Y可移動掃描范圍: 300mm(X) × 300mm(Y)
● 較大可測量高度:5mm
● 測量速度:較大60 Profiles / min
● SPC 軟件:Cp、Cpk、Sigma、Histogram Chat、 X bar R