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簡單介紹
等離子清洗設(shè)備有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗機。 GDR-100PR真空等離子清洗機是我公司針對實驗室需要開發(fā)的一款中型立式等離子清洗機。適合各種基片、粉體或顆粒狀材料的等離子表面改性處理，包括：等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、接枝與聚合等。
產(chǎn)品描述
立式中型等離子清洗機，觸摸電腦 PLC多步流程全自動控制，全電路檢測，用于BGA、COB、CSP、LED封裝制程清洗有機物及氧化物等離子清洗、刻蝕、去膠、活化，中批量等離子清洗機生產(chǎn)機型。
>> 產(chǎn)品特點
立式中型等離子清洗機，觸摸電腦 PLC多步流程全自動控制，全電路檢測，用于BGA、COB、CSP、LED封裝制程清洗有機物及氧化物，中批量生產(chǎn)機型。
>> 技術(shù)參數(shù)
◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報警燈)
650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(合金鋁，約100升)
420(W)×420(D)×570(H)mm
◆ 放電電極
9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理
◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作
◆ 控制系統(tǒng)
PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等電器元件，性能穩(wěn)定,并具有 手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)
日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器
◆ 壓力控制
PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制
◆ 充氣系統(tǒng)
美國AE高精度電子質(zhì)量流量計(兩路氣體配制)、針閥
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
