臺式等離子清洗機為全鋁外殼,表面經噴塑處理,外形簡潔美觀。清洗腔體為不銹鋼,采用平板離子發生器。腔體精致,精度高,響應快,操控性和兼容性好,功能完善,可調參數多,完美契合科研機構和公司的初期實驗和少量生產需要。
CY-2A臺式等離子清洗機主要技術參數
整機規格:440mm(W)×500mm(D)×220mm(H)
腔體規格:Φ100mm×270mm
電極規格:內置平板電極
電極尺寸:70mm×240mm
載物方式:平放/懸掛均可
載物平臺:單層80mm×120mm
電源系統:40KHz固態晶體管等離子發生源,
控制系統:手動控制
真空系統:旋片油泵,抽速:4L/S
底真空度:<5Pa,工作真空度5-100Pa內連續可調
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