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SEM EDS掃描電鏡
是依據電子與物質的相互作用。當高能的入射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射.
2. SEM EDS掃描電鏡能譜應用
材料，粉體，礦物粒徑大小，表面斷面形貌分析, 填料分散狀態復合材料結構, 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。元素定性分析。
3.適用標準
GB/T 16594-2008微米級長度的掃描電鏡測量方法通則
GB/T 17362-2008 黃金制品的掃描電鏡X射線能譜分析方法
4.送樣要求
粉狀樣品1-5g之間，能把3-5mm直接樣品填滿即可。塊狀樣品不能大于5mm寬，高度小于5mm.
