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如果抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看有輕微漏氣。其次應打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。想了解更多內容請點擊《機械真空泵常規修復方法》
在排除以上兩個因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要換油；泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器；配油器閥門變形、磨損或損壞也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門；長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足,，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作失靈，導致排氣不暢，必要時應更換排氣閥門。
普旭真空泵配件不能啟動：主要表現為真空泵加電后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分，如保險管燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后，應考慮以下兩個因素：
電機燒壞。主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。
普旭真空泵配件旋片卡阻。主要表現為旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大，致使電機無法帶動旋片。原因是旋片變形，轉子內的彈簧張開后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導致旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大。這時就應及時修復旋片和彈簧，若不能修復則應更換。
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