該系列設備主要是(集)直流磁控濺射,中頻濺射和電弧離子蒸發三種技術融合一體,結合線性離化源及脈沖偏壓鍍膜可使沉積顆粒細化。膜層各項性能提高,能在金屬制品及非金屬表面鍍制合金膜、化合物膜,多層復合膜等。經公司技術人員多年研發,通過特有的陰極電弧離子和非平衡磁控系統,開發出整套PROPOWER系列計算機自動控制系統,使鍍膜膜層附著力致密度、從復度一致性好等特點,解決了人工手動操作復雜性、膜層顏色不一致等問題。廣泛適用于手表、手機殼、五金、潔具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。鍍制TiN、TiCN、CrN、TiALN、TiNbu、TiCrN、ZrN、TiNC及各類金剛石膜(DLC)。
1. 磁控濺射的原理是基于陰極輝光放電理論,把陰極表面磁場擴展到接近工件表面,提高了濺射原子離化率。既保留磁控濺射的細膩又增強了表面光澤度。
2. 電弧等離子體蒸發源性能,在優化陰極及磁場結構鍍膜時可在 30A 電流下工作,鍍膜膜層和基底界面產生原子擴散,又具有離子束輔助沉積的特點。
參數說明:
型號 JTL-800 JTL-1000 JTL-1250
真空室尺寸 Φ800Χ1000mm Φ1000Χ1000mm Φ1250Χ1100mm
鍍膜方式及主要配置
六個多弧靶 一套圓柱靶 一套平面矩形磁控濺射靶 八個多弧靶 一對孿生(中頻)磁控濺射靶 一套平面矩形磁控濺射靶 十二個多弧靶 二套平面矩形磁控濺射靶 一對孿生(中頻)磁控濺射靶
電源
電弧電源、直流磁控電源、中頻磁控電源、燈絲電源、脈沖電源、線性離化源
工藝氣體控制
質量流量計 電磁陶瓷閥
真空室結構
立式側(單)開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷
真空系統組成
分子泵 羅茨泵 機械泵(5.0Χ10-5 pa),擴散泵 羅茨泵 機械泵( 5.0Χ10-4pa)
工件烘烤溫度 常溫到 500度可調可控(PID控溫),輻射加熱
工件運動方式 公自轉變頻調速, 0-20轉/分
測量方式 數顯復合真空計:測量范圍從大氣至 1.0Χ10-5pa)
控制方式 手動 /自動/PC/PLC HMI/PC四種控制方式可選
備注 以上設備可按客戶實際產品及特殊工藝要求設計訂做