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RTP快速退火爐的主要技術(shù)參數(shù)如下
加熱元件：鹵素電極；
電極數(shù)量：12支；
整機功率：7.2KW；
升溫速率：200℃/Second；
降溫速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
較高溫度：1100℃；
溫度精度： /- 1℃；
較大樣品尺寸：4英寸；
氣氛環(huán)境：真空、氣體（氮氣、氬氣、氧氣）、空氣；
真空系統(tǒng)：可根據(jù)實際需要選配無油機型泵或者分子泵
應(yīng)用領(lǐng)域：
-快速熱退火
- 快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴散
- 化合物半導(dǎo)體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅化
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積; 等等…
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