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microme|x 微焦點X光檢測系統
亞微米級高分辨率自動化X光檢測系統，用于焊點及電子元器件的二維檢測和計算機斷層掃描成像(CT)。
microme/x 主要性能參數
系統放大倍數和分辨率
幾何放大倍數 可達2,160倍
總放大倍數 不使用軟件放大時可達23,320倍
細節分辨能力 < 1微米
X射線管
類型 開管，發射式管頭，170度錐角，準直功能
陽極 無毒鎢靶，可旋轉以多次使用
陰極 鎢絲；預校燈絲快鎖式陰極(座)，即插即用。
真空系統 無油式渦輪分子真空泵
最大管電壓 180kV
最大管功率 20W
劑量率穩定性 <0.5% / 8h
