ITO透明導電玻璃是利用先進的真空磁控濺射鍍膜技術在玻璃的單面或雙面鍍上透明氧化銦錫(Indium-Tin Oxide, ITO)導電薄膜所得到的鍍膜制品,是生產電阻式和電容式觸摸屏的關鍵材料。ITO作為納米銦錫金屬氧化物,具有很好的導電性和透明性,可以切斷對人體有害的電子輻射,紫外線及遠紅外線。應用于液晶顯示器時,還會在鍍ITO層之前鍍一層二氧化硅阻擋層,以阻止玻璃基片中的離子擴散到導電層。對透過率有更高要求時,可在鍍ITO導電層之前增鍍AR減反射膜,成為高透ITO導電玻璃。
生產線特點:
(1) 設備類型:立式連續磁控濺射鍍膜線
(2) 膜層均勻性:在有效沉積區域內,膜層厚度均勻性≤ 5%
(3) 陰極結構設計:采用中頻孿生旋轉陰極,靶規格視產品而定
(4) 傳動模式:采用小車傳動方式。整條生產線的各段速度采用變頻調速電機驅動,運行速度可調節。
(5) 鍍膜溫度控制:可按客戶要求采用不同加熱方式,控溫穩定度為
(6) 控制系統:采用組態軟件與PLC的結合模式,實現人機對話,對生產過程能進行必要的及時干預。運行過程中有報警提示和故障顯示。