濕法PSS設備
1.、Patterned Sapphire Substrate 即圖形化藍寶石基板,簡稱PSS設備
2、CGB濕法PSS設備針對GaN外延前藍寶石襯底的腐蝕設計制造;
3、取代干法PSS工藝,大大降低工藝成本;
4、全自動高溫腐蝕設備采用此種工藝,其可應用于:
(1)用于 LED 激光切割之后,去除燒結產物的高溫清洗設備,快速經濟效益 明顯;
(2)采用 LED 藍寶石圖形化襯底工藝系統,將襯底材料的表面進行幾何形狀的粗 化,破壞光線在材料內部的全反射,以提升材料的發光效率(目前濕法腐蝕 PSS 工藝技術可使 LED 的發光率提升 15%~17%)。
5、 本產品在設計和制造上充分考慮了濕法PSS工藝的特型,使設備的安全性、可控性、可操作性得到完全;
6、設備主體鋼骨架貼合 PP 板焊接而成,耐酸堿提高設備抗腐蝕能力,設備安全;
7、完善的抽風系統,獨立化的高溫槽酸排風裝置,安全預置系統設備安全;
8、控制系統采用PLC與觸摸屏控制,可實現多菜單、靈活界面操作;
9、全稱自動控制,配備全自動機械手,整個生產過程率;