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原理簡介
熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、性高的技術，其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），當這兩個RTD被置于流體中時，其中一個被加熱，另一個用于感應過程溫度。兩個RTD之間的溫差與過程流速及過程介質的性質有關，保持該溫差恒定，則電子單元加熱RTD的能量與質量流量成函數關系。
性能指標
測量性能
精度：±1%的讀數或±0.25%的滿量程
調試：按NIST計量標準標定
重復性：±0.2%滿量程
響應時間：0.9秒
操作性能
測量單位
SCFM，SCFH，Nm3H，SLPM，KB/HR，LBS/M，SFPM，SFPS，NMPS.可選
流量范圍
插入式：0-163Nmps（標米每秒）
0-32，000sfpm（標英尺每分）
管徑
Scfm
Nm3/h
3¨(80mm)
0-1600
0-2720
6¨(150mm)
0-6400
0-10870
8¨(200mm)
0-11100
0-18860
10¨(250mm)
0-18200
0-30920
12¨(300mm)
0-24900
0-42300
16¨(400mm)
0-43350
0-73700
20¨(500mm)
0-67700
0-115150
判斷插入式流量可以滿足要求，將較大流量除以管道橫截面積，看流速在要述范圍內。以下是常用管道的流量范圍。
